等離子清洗機(jī)分類(lèi)
文章出處：等離子清洗機(jī)廠(chǎng)家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-05-07
等離子清洗機(jī)分類(lèi)形式有很多種，不過(guò)等離子清洗機(jī)的主要原理都是利用清洗時(shí)高能電子碰撞反應(yīng)氣體分子，使之離解或電離，利用產(chǎn)生的多種粒子轟擊被清洗表面或與清洗表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而有效地清除各種污染物。下面就讓我們一起來(lái)簡(jiǎn)單了解下等離子清洗機(jī)的分類(lèi)吧。
按照等離子體的產(chǎn)生環(huán)境分類(lèi)
一般我們來(lái)說(shuō)按照等離子體產(chǎn)生的環(huán)境可以分為真空等離子清洗機(jī)，和常壓等離子清洗機(jī)兩大類(lèi)，這也是市面上比較常見(jiàn)的分法。真空等離子清洗機(jī)與常壓等離子清洗機(jī)一般情況，氣體放電產(chǎn)生等離子體，只能在很低的壓強(qiáng)甚至是真空中產(chǎn)生并穩(wěn)定存在，因此低壓等離子體必須要具備抽真空的設(shè)備。真空等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì)有以下方面，所需要的擊穿電壓低；狀態(tài)穩(wěn)定；電子溫度為中性溫度；離子濃度和自由基濃度相對(duì)較髙，有效的與物體發(fā)生聚合或刻蝕反應(yīng)；氣體量增大的條件下也能產(chǎn)生穩(wěn)定的輝光放電。但真空等離子清洗機(jī)存在著以下一些缺點(diǎn)：真空設(shè)備造價(jià)很貴，維護(hù)成本高。在生產(chǎn)過(guò)程中要頻繁的進(jìn)行抽真空，而且腔室受限制，不能進(jìn)行在線(xiàn)連續(xù)處理，這些都為等離子體技術(shù)在更多的領(lǐng)域及相關(guān)產(chǎn)業(yè)應(yīng)用帶來(lái)限制。常壓等離子清洗機(jī)彌補(bǔ)了真空等離子清洗機(jī)的不足。無(wú)需真空操作，可以很方便的整合到已有的產(chǎn)線(xiàn)上對(duì)材料進(jìn)行在線(xiàn)處理。
在線(xiàn)式等離子清洗機(jī)與離線(xiàn)式等離子清洗機(jī)
按照是否在線(xiàn)又可以分為批量離線(xiàn)式等離子清洗機(jī)，和在線(xiàn)式等離子清洗機(jī)。隨著等離子清洗技術(shù)的大量運(yùn)用，不同行業(yè)對(duì)等離子清洗機(jī)的需求程度不一樣，促使以前離線(xiàn)式的真空等離子清洗機(jī)不在能滿(mǎn)足企業(yè)的生產(chǎn)需求，因此在線(xiàn)式真空等離子清洗機(jī)便應(yīng)用而生。
批量式等離子清洗機(jī)的主要結(jié)構(gòu)包括:反應(yīng)倉(cāng)、殼體、控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電源以及真空系統(tǒng)等。在線(xiàn)式等離子清洗機(jī)的主要結(jié)構(gòu)包括:上下料推料機(jī)構(gòu)、上下料置取料平臺(tái)、上下料提升系統(tǒng)、上下料傳輸系統(tǒng)、上下料撥料機(jī)構(gòu)、反應(yīng)倉(cāng)、設(shè)備主體框架和電氣控制系統(tǒng)等。在線(xiàn)式等離子清洗機(jī)是在批量式等離子清洗機(jī)的基礎(chǔ)上為了盡量減少生產(chǎn)工藝中的人工參與而設(shè)計(jì)的一種設(shè)備，主要針對(duì)集成電路IC封裝工藝中引線(xiàn)鍵合前進(jìn)行引線(xiàn)框架芯片、基板的等離子清洗，徹底去除其表面的氧化物、微顆粒污染物，達(dá)到改善材料表面性質(zhì)，提高引線(xiàn)鍵合強(qiáng)度，降低焊不上、虛焊的可能性。
除了真空等離子清洗機(jī)有在線(xiàn)和離線(xiàn)之分，常壓等離子清洗機(jī)也有在線(xiàn)離線(xiàn)的說(shuō)法，其實(shí)都只是在等離子清洗機(jī)的基礎(chǔ)上增加了自動(dòng)化的功能。
按照等離子體的激發(fā)頻率分類(lèi)
等離子清洗機(jī)根據(jù)等離子體激發(fā)頻率的不同又可以分為，中頻等離子清洗機(jī)，射頻等離子清洗機(jī)，微波等離子清洗機(jī)。常見(jiàn)的產(chǎn)生等離子的方式分為三種:(1)中頻等離子體;(2)射頻等離子體;(3)微波等離子體。這是根據(jù)產(chǎn)生等離子體的發(fā)生頻率來(lái)分，中頻等離子體為40kHz，射頻等離子體為13．56MHz，微波等離子體為2．45GHz。這其中中頻等離子體和射頻等離子體為電場(chǎng)產(chǎn)生等離子的方式，微波等離子體為磁場(chǎng)產(chǎn)生等離子體的方式。激發(fā)頻率40kHz的等離子體為超聲等離子，發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，清洗系統(tǒng)離子密度較低；13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)，離子密度和能量較高；2.45GHz的等離子體為微波等離子體，離子濃度最高，反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。
另外還有一些其他的等離子清洗機(jī)分類(lèi)，例如常壓等離子清洗機(jī)，又可以分為直噴等離子清洗機(jī)，旋噴等離子清洗機(jī)，還有寬幅等離子清洗機(jī)。真空等離子清洗機(jī)又可以分為，真空卷對(duì)卷等離子清洗機(jī)，真空滾筒等離子清洗機(jī)等，這都是按照等離子清洗機(jī)的不同應(yīng)用來(lái)進(jìn)行分類(lèi)的，還可以按照腔體的材質(zhì)不同分為，不銹鋼腔體等離子清洗機(jī)，鋁腔體等離子清洗機(jī)，石英玻璃等離子清洗機(jī)等等。
其他分類(lèi)方法
等離子清洗機(jī)之所以有這么多分類(lèi)，是等離子清洗機(jī)廠(chǎng)家針對(duì)不同的用戶(hù)需求，設(shè)計(jì)制造了許多種不同結(jié)構(gòu)類(lèi)型、不同電源頻率的等離子清洗機(jī)。各有所長(zhǎng)，也就各有所短。選用等離子清洗設(shè)備前要搞清楚待清洗工件特征，要清除掉的沾污物是什么，待清洗工件在清洗過(guò)程中應(yīng)避免什么，是高溫、晶格損傷、靜電損傷還是二次污染等，通過(guò)試驗(yàn)結(jié)果確認(rèn)、選購(gòu)滿(mǎn)足不同工件對(duì)等離子清洗不同要求的設(shè)備。
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