等離子體的產(chǎn)生以及等離子體放電的類型

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-05-10

低溫等離子體主要是由氣體放電產(chǎn)生的,根據(jù)放電產(chǎn)生的機(jī)理，氣體的壓強(qiáng)范圍、電源性質(zhì)以及電極的形狀，氣體放電等離子體主要分為以下幾種形式：電暈放電、輝光放電、介質(zhì)阻擋放電、弧光放電、微波放電等。

（1）電暈放電：
在曲率半徑很小的尖端電極附近，由于局部電場(chǎng)強(qiáng)度超過氣體的電離場(chǎng)強(qiáng)，使氣體發(fā)生電離和激發(fā)，因而出現(xiàn)電暈放電。發(fā)生電暈時(shí)在電極周圍可以看到光亮，并伴有咝咝聲。由于氣體擊穿后絕緣破壞，內(nèi)阻降低，當(dāng)迅速越過自持電流區(qū)后便立即出現(xiàn)極間電壓減小的現(xiàn)象，并同時(shí)在電極周圍產(chǎn)生昏暗輝光，稱為電暈放電。

（2）輝光放電：
輝光放電是低氣壓下的氣體放電。放電管中的殘余正離子在極間電場(chǎng)的作用下被加速，于是得到足夠的動(dòng)能撞擊陰極而產(chǎn)生二次電子，經(jīng)簇射過程產(chǎn)生更多的帶電粒子，使得氣體導(dǎo)電。輝光放電是氣體放電的一種重要形式，從陰極發(fā)射電子，在放電空間引起電子雪崩，產(chǎn)生的正離子再轟擊陰極使其發(fā)射更多的電子，是電子雪崩的不斷發(fā)展而引起的放電。

3）介質(zhì)阻擋放電：
是有絕緣介質(zhì)插入放電空間的一種非平衡態(tài)氣體放電又稱介質(zhì)阻擋電暈放電或無聲放電。介質(zhì)阻擋放電是兼有輝光放電的大空間均勻放電和電暈放電的高氣壓運(yùn)行的特點(diǎn)。由于其電極不直接與放電氣體發(fā)生接觸，從而避免了電極因參與反應(yīng)而發(fā)生腐蝕的問題。由于DBD在產(chǎn)生的放電過程中會(huì)產(chǎn)生大量的自由基和準(zhǔn)分子，它們的化學(xué)性質(zhì)非?；钴S，很容易和其它原子、分子或其它自由基發(fā)生反應(yīng)而形成穩(wěn)定的原子或分子，在環(huán)保方面也有很重要的價(jià)值。

（4）弧光放電：
無論在稀薄氣體、金屬蒸氣或大氣中，當(dāng)電源功率較大，能提供足夠大的電流（幾安到幾十安），使氣體擊穿，發(fā)出強(qiáng)烈光輝，產(chǎn)生高溫（幾千到上萬(wàn)度），這種氣體自持放電的形式就是弧光放電。

（5）微波放電：
微波放電是將微波能量轉(zhuǎn)化為氣體分子的內(nèi)能，使之激發(fā)、電離以發(fā)生等離子體的一種氣體放電形式。微波放電的電離度高，氣體具有更高的活化程度，因而能在更低溫度下獲得和維持具有更高能量的等離子體，更適合對(duì)溫度敏感材料如有機(jī)薄膜的處理，但設(shè)備造價(jià)較高。