等離子清洗機產生的氣體是否對人體有危害？

等離子清洗機產生的氣體對人體有沒有傷害，主要看通入的是反應性氣體還是非反應性氣體，如果是非反應性氣體，那么就不會產生任何危害，如氬氣等。如果是反應性氣體，就要看這種反應性氣體反應后生成的氣體是哪種成分，如果是生成二氧化碳和水，那么對于人體就沒有任何危害，如果通入的氣體本身是腐蝕性氣體，那么生成的揮發(fā)性氣體也會對人體有一定的危害如CF4等，需要注意對生成的尾氣進行處理。不要直接在密閉空間直接排放。

等離子清洗機產生的氣體是否對人體有危害？

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-06-01

等離子清洗機通過等離子體產生的離子通過離子轟擊材料實現(xiàn)物理和化學反應，由產生等離子體的氣體和氣體組合的不同，可以在處理表面產生不同的反應。

等離子體本質是“部分離子化了的氣體”，由電子、離子、活潑自由基、分子四種形態(tài)組成。反應氣體處在低的壓力中，在電場的作用下獲得能量，氣體分子離子化，產生輝光放電。離子化氣體分子影響或和進程中的材料分子反應，打破他們變成較小的分子而且變成揮發(fā)性的氣體，通過真空泵排凈。等離子處理過程是一個物理和化學相結合的反應。

等離子清洗機產生的氣體是否對人體有危害？

在等離子清洗蝕刻中的反應氣體主要有N2,Ar,He,O2，CF4，H2等，等離子體的化學作用過程，主要是高能正離子和自由基粒子的誘發(fā)反應。自由基的高度不穩(wěn)定性使其在化學作用過程中能迅速實現(xiàn)能量傳遞和激發(fā)官能團的作用，處于激發(fā)狀態(tài)的有機官能團，也具有不穩(wěn)定的高能量狀態(tài)，很容易發(fā)生裂解反應，生成穩(wěn)定的氣態(tài)分子，如水、二氧化碳、二氧化氮，SiF4等，SiF4即四氟化硅，其無色、有毒、有刺激性臭味的氣體，氟化物對人體有害，少量的氟就能引發(fā)一系列的病痛。

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