薄膜低溫等離子體處理原理

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2023-08-18

低溫等離子體中含有多種組分，但主要還是電子對接觸的材料表面起作用，當等離子體與材料表面作用時，粒子會將攜帶的能量傳遞給材料表面，這些能量的傳遞會引起材料性能的改變。等離子體中電子所攜帶的能量范圍一般為0-20eV，與常見的構成有機分子的原子間共價鍵鍵能處于一個能級，這表明無論有機物是否具有不飽和鍵，等離子體處理可以打開有機物的舊共價鍵，并形成新的化學鍵。也正是因為兩者處于同一能級，使得等離子體處理的過程只是直接的能量轉移。當它們與材料表面發(fā)生作用時會將自身的能量傳遞給材料表面的原子和分子，發(fā)生復雜的化學及物理變化，從而改變了材料表面的潤濕性、粘結性、表面能等。

薄膜低溫等離子體處理原理

輝光放電產生的低溫等離子體具有能量低、強度大、穿透力小的特點，讓其作用于薄膜材料表面，進行低溫等離子體處理，通過控制處理時間和功率大小等因素，選擇合適的引入單體，可以實現(xiàn)對薄膜材料進行定性、甚至是定量的改性，從而賦予薄膜表面新的物理化學性質。

將薄膜材料置于非聚合性氣體等離子體氛圍中，在薄膜表面進行低溫等離子體處理，利用低溫等離子體中的帶能量的活性粒子轟擊薄膜材料表面，使薄膜材料中的高分子聚合物發(fā)生斷鍵重組，從而達到改性的目的。根據選擇的氣體的不同，可以分為兩個部分。第一種是如氬氣、氦氣等惰性氣體等離子體，它們在低溫等離子體處理過程中，不會在薄膜表面引入新的元素，而是在薄膜表面形成大量的自由基后，由自由基引發(fā)薄膜材料本身發(fā)生交聯(lián)反應，從而引起材料表面微觀結構和物化性質的變化。另一種是如氮氣、氧氣等反應性等離子體，不僅會發(fā)生上述的交聯(lián)反應，使薄膜發(fā)生結構的變化，還會直接引入含氮和含氧的官能團，從而改變薄膜表面的化學成分。

等離子體處理過程復雜，不是由一種反應主導，而是會發(fā)生一系列的競爭反應，主要包括等離子體刻蝕反應、等離子體引發(fā)的交聯(lián)反應和活化反應。活化反應是指，等離子體在薄膜表面作用產生活性位點，在這些活性位點上引入功能性基團的反應，等離子體處理引入的基團主要是反應性氣體產生的。因此，等離子體處理對薄膜材料表面的微觀結構、物化性能和化學組成都會產生重大影響。

低溫等離子體表面處理工藝屬于干式工藝，操作簡單，無二次污染物，節(jié)能環(huán)保，而且能量效率高，處理時間短，可以處理各種材料，具有普遍適應性。對于薄膜材料表面處理，等離子體處理具有處理效果均勻的優(yōu)點，而且作用的深度僅在薄膜表面幾納米到幾百納米的范圍，不影響薄膜材料的內部結構，可以充分發(fā)揮原薄膜材料的優(yōu)點。因此，低溫等離子體技術在薄膜材料修飾和改性方面，應用的范圍越來越廣泛。