60L真空等離子清洗機NE-PE60F

產(chǎn)品型號：NE-PE60F
性能特點：全自動操作，處理均勻性好
產(chǎn)品用途：表面的油污清洗、氮氧化物、光刻膠去除、聚合物改性

在線咨詢

產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品參數(shù)

真空等離子清洗機是通過控制由密閉腔室連接真空泵、RF電源和進氣控制的裝置系統(tǒng)產(chǎn)生的等離子體，通過化學或物理作用對放置在電極(正極和負極)和非電極(懸浮極)載物托盤上的工件表面進行納米級處理，實現(xiàn)分子水平的多余材料和沾污去除，改善工件表面極性性能，為下步工藝做好基礎(chǔ)的工藝過程設(shè)備。被清除的材料和沾污可能有:有機物如玻璃表面的油污、環(huán)氧基聚合物、氧化物如氧化銀等、氮氧化物、光刻膠，焊料殘余、金屬鹽等。對應不同的基材及沾污，應采用不同的清洗工藝:工藝氣體種類及流量控制如氧氣、氬氣、氯基氣、氫氣等。
等離子清洗機

真空等離子清洗機產(chǎn)品特點：

♦射頻電源功率選擇為0到600W可調(diào)，頻率選擇為13.56MHz，同時采用電源匹配系統(tǒng)來調(diào)節(jié)負載阻抗，以保證最佳的等離子密度和可重復性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計來精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時采用高穩(wěn)定性的真空泵來實現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計、體積小、重量輕、完善的保護功能等特點。
♦前設(shè)開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進氣孔，以便于形成動態(tài)循環(huán)、均勻進氣提高清洗的效果。
♦兩路獨立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強、低溫情況下的強度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。

真空等離子清洗機清洗原理：

等離子清洗是依靠特定物質(zhì)等離子體中的高能粒子流沖擊需要清潔的物體表面，產(chǎn)生物理沖擊（如氬等離子體）或化學反應（氧等離子體）來實現(xiàn)去除物體表面污漬的功能。

以氧氣等離子體去除物體表面油脂污垢為例，等離子體對油脂污垢的作用，類似于使油脂污垢發(fā)生燃燒反應，但不同之處是在低溫情況下發(fā)生的"燃燒"。其基本原理:氧氣等離子體中的氧原子自由基、激發(fā)態(tài)的氧氣分子、電子以及紫外線的共同作用下，油脂分子最終被氧化成水和二氧化碳分子，并從物體表面被清除。

真空等離子清洗機產(chǎn)品應用：

真空等離子清洗機的應用例子極為廣泛，集成電路生產(chǎn)工藝需求，前期芯片制造，后期封裝及混合電路等的可持續(xù)發(fā)展;陶瓷、石英、高分子工程塑料等表面納米級的活化改性，由非極性到帶有一層納米級的極性材料表層，以提高材料表面物理和化學的粘接印刷涂覆上漆性能，最貼近生活化的如制鞋業(yè)的工藝生產(chǎn)需求，連接器上logo的印刷等;LCD液晶顯示屏表面有機物干擾材料的去除;金屬表層氧化物的去除等。

項目	型號規(guī)格	參數(shù)
等離子體發(fā)生器	功率	0-500W可調(diào)
	頻率	40KHz/13.56MHz
	抗輻射干擾高頻匹配器	自動抗阻匹配，遠程通信控制
真空反應腔室	腔體內(nèi)部尺寸	400370450（寬高深）
	腔體容積	66L
	材質(zhì)	不銹鋼/鋁合金
	電極層數(shù)	5層
	工作托盤	標配一套，材質(zhì)可選（鋁絲，鋼絲網(wǎng)）
	電極板分布方式	平板電極，可靈活抽取
控制系統(tǒng)	系統(tǒng)控制	PLC
控制系統(tǒng)	觸摸屏	七寸觸摸屏
氣體系統(tǒng)	氣體通道	標配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮氣等）
氣體系統(tǒng)	氣體流量控制	MFC氣體質(zhì)量流量計
外觀參數(shù)	外形尺寸	90510701740

上一篇：40L真空等離子清洗機NE-PE40F

下一篇：110L真空等離子清洗設(shè)備NE-PE110F

60L真空等離子清洗機NE-PE60F

真空等離子清洗機產(chǎn)品特點：

真空等離子清洗機清洗原理：

真空等離子清洗機產(chǎn)品應用：

推薦產(chǎn)品

相關(guān)閱讀