210L真空等離子清洗機(jī)NE-PE210F

產(chǎn)品型號(hào)：NE-PE210F
性能特點(diǎn)：處理空間大，清洗效率高，等離子處理均勻
產(chǎn)品用途：對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料表面清洗活化改性

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產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品參數(shù)

該設(shè)備為低溫負(fù)壓/真空等離子清洗機(jī)，其中比較核心的關(guān)鍵等離子清洗原理是基于由真空泵在腔體中抽出的真空低壓狀態(tài)下，利用射頻源激發(fā)形成的高壓交變電場(chǎng)將氧氣或氬氣等工藝氣體高速運(yùn)動(dòng)及震蕩成對(duì)應(yīng)的等離子體，與物體材料表面的微顆粒污染物或者有機(jī)污染物進(jìn)行物理碰撞或者發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，進(jìn)而形成揮發(fā)性物質(zhì)，最后再由真空泵將這些易揮發(fā)性的物質(zhì)排出腔體外部，從而達(dá)到清潔及活化物體材料表面的目的。其最大特點(diǎn)是可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗，該射頻等離子清洗機(jī)操作簡(jiǎn)單，單次可清洗數(shù)量比較大，又無廢液，污染源產(chǎn)生。

真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

♦射頻電源功率選擇為0到1000W可調(diào)，頻率選擇為13.56MHz，同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗，以保證最佳的等離子密度和可重復(fù)性。
♦電極板主體由不銹鋼材料制成，通過電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通，電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中，整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距，以獲得最合適的等離子體。
♦平行平板型的電極結(jié)構(gòu)，使得在所有樣品表面都得到了均勻的等離子體，并且也能提供最大的樣品裝載能力，因此滿足均勻性和生產(chǎn)能力的要求。
♦供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量，同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
♦高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、占地面積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
♦前設(shè)開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
♦兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對(duì)清洗效果的影響。
♦真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體，耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。
♦用PLC控制，工藝過程全自動(dòng)完成，具有良好的互鎖和報(bào)警功能。

真空等離子清洗機(jī)的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型,均可進(jìn)行處理,對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。等離子體清洗還具有以下幾個(gè)特點(diǎn):容易采用數(shù)控技術(shù),自動(dòng)化程度高;具有高精度的控制裝置,時(shí)間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進(jìn)行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染。

項(xiàng)目	型號(hào)規(guī)格	參數(shù)
等離子體發(fā)生器	功率	0-1000W可調(diào)
	頻率	40KHz/13.56MHz
	抗輻射干擾高頻匹配器	自動(dòng)抗阻匹配，遠(yuǎn)程通信控制
真空反應(yīng)腔室	腔體內(nèi)部尺寸	600600600（寬高深）
	材質(zhì)	不銹鋼/鋁合金
	電極層數(shù)	9層
	腔體容積	200L
	工作托盤	標(biāo)配一套，材質(zhì)可選（鋁絲，鋼絲網(wǎng)）
	電極板分布方式	平板電極，可靈活抽取
控制系統(tǒng)	系統(tǒng)控制	PLC
控制系統(tǒng)	觸摸屏	七寸觸摸屏
氣體系統(tǒng)	氣體通道	標(biāo)配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮?dú)獾龋?/span>
氣體系統(tǒng)	氣體流量控制	MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)
外觀參數(shù)	外形尺寸	135017501200（寬高深）

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真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

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